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Edwards 推出具有严苛制程能力的新型 iXH Mk2干泵

2019-03-15来源: EEWORLD 关键字:Edwards  干泵

Edwards 凭借长达 100 年的创新技术积淀,研发了引领严苛制程能力的全新标杆产品,同时兼具无与伦比的可靠性和更低的总体使用成本。

 

2019年3月14日英国西萨塞克斯,伯吉斯希尔讯 - Edwards 宣布推出具有严苛制程能力的新型 iXH Mk2系列干泵。该系列拥有高效性能,以低功耗著称,不仅能够满足当今半导体工艺的一切要求,还能应对未来半导体应用、显示器、LED、太阳能光伏制造工艺等领域的新兴挑战。新型 iXH Mk2 解决方案将于3月20日至22日在上海新国际博览中心举办的 SEMICON China 亮相(FPD CHINA 展位1309)。

 

Edwards高级产品经理Al Brightman表示:“与前几代产品相比,新型 iXH Mk2干泵在最严苛的工艺环境下也能具有长久的服役寿命,还显著提高了能耗。凭借长达100年的创新技术积淀,我们研发了引领严苛制程能力的全新标杆产品,兼具无与伦比的可靠性和更低的总体使用成本。iXH 无惧半导体制造的严苛工艺环境。”


关键字:Edwards  干泵

编辑:baixue 引用地址:http://www.eeworld.com.cn/manufacture/2019/ic-news031527608.html
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